半导体生产千级无尘净化车间设计施工详细介绍

半导体生产无尘车间设计施工/半导体工业洁净室建设/半导体百级净化施工/半导体千级净化施工/半导体万级净化车间设计施工

中山市美蓝洁净科技生产的的空气净化产品及设备主要有：风淋室，货淋室，初效过滤器，中效过滤器，高效过滤器、超净工作台，洁净工作台，传递窗，风淋室配件，风淋室控制器，化学过滤器，FFU风机过滤单元，空气自净器，洁净棚，新风柜，过滤柜，通风柜，洗手池，洁净采样车，高风效送口等等洁净室及配套用净化产品等。无尘车间净化设备广泛应用于电子、半导体、生物制药、食品加工、核工业、汽车制造业,空调暖通业行业和领域等。

半导体净化车间设计的设计范围包括：装修方案（围护、地面防水保温处理），暖通方案（空调设备、风管、水管等），特气供应方案（特气柜含保险控制、房间气体监测、EP级管道及BA级管道、供气管路尾气处理），压缩空气方案，废气处理方案（仪器设备POU处理、房间排风废气处理），电气方案（空调设备动力配电等），弱电工程，集成控制智能平台，纯水方案（冷却水、去离子水、超纯水、水管等），废水处理。

一、结构围护工程

墙板及吊顶：本工程隔墙采用企口型机制玻镁岩棉夹芯板0.426，玻镁岩棉彩钢板符合洁净厂房二级消防要求，玻镁岩棉彩钢夹芯板具有1000℃的耐火性能，耐火等级达到A级。岩棉密度：≥1000kg/m?；导热系数：≤0.046w/m.k；燃烧性能：A级（不燃）。耐火极限为30~120分钟。广泛应用于食品、电子、医yao、饮料、生物研究等行业。

地板：车间内采用防静电型PVC地板，其中千级和百级车间采用防静电型架高钢板，其它为普通型PVC地板。PVC地板是当今世界上非常流行的一种新型轻体地面装饰材料，也称为“轻体地材”使用非常广泛，比如家庭、医院、学校、办公楼、工厂、公共场所、超市、商业等各种场所。

二、暖通工程

设备：空调制冷负荷：经统计计算，总冷负荷约500KW。采用恒温恒湿洁净空调，夏季采用磁悬浮水冷机组，冬季采用厂区锅炉热水供热。

风管：风管采用共板法兰风管。

水管：空调水管采用无缝钢管。水泵采用星-三角降压启动。

三、特种气体工程

工艺气体种类多，纯度高，并且易燃易爆有毒。安全问题突出，为***系统的安全和稳定可靠，建议采用进口成熟产品。

因为 MOCVD 生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质，并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料，因此在MOCVD 系统的设计思想上，通常要考虑系统密封性要好，流量、温度控制要***，组分变换要迅速，系统要紧凑等。核心工作是气体输运系统和尾气处理系统。

四、空压气体工程

螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成：空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。

五、废气工程

由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。

生产废气排放源及组成表

废气来源组成外延工序SiH4、SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、AsH3、B2H6、PH3、HCl、H2清洗工序H2SO4、H2O2、HNO3、HCl、HF、H3PO4、NH4F、NH4OH 等光刻工序异丙醇、醋酸丁酯、甲苯、Cl2、BCl3、C2F6、C3F8、CF4、SF6、HF、HCl、NO、C3H8、HBr、H2S 等化学机械抛光NH4OH、NH4Cl、NH3、KOH、有机酸盐化学气相沉淀SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、SiF4、CF4、B2H6、PH3、NF3、HCl、HF、NH3扩散、离子注入BF3、AsH3、PH3、H2、SiH4、SiH2Cl2、BBr3、BCl3、B2H6金属化工序SiH4、BCl3、AlCl3、TiCl4、WF6、TiF4、SiF4、AlF3、BF3、SF6等 对酸性气体、碱性气体的处理一般都采用湿式洗涤塔技术。

对于有机废气采用吸附、焚烧或两者相结合的处理方法。因为半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大（通常大于11039 m3/小时）和浓度低（通常小于25ppmv）的特点，使用其它的处理技术难以达到令人满意的处理效率。沸石浓缩转轮后再吸附或焚烧。

以上即是美蓝洁净科技关于半导体净化车间的设计方案部分工程分享，希望今天的分享对您有所帮助。在下一次的分享里，美蓝洁净科技将为您详解电气工程、弱电系统工程、智能平台、纯水工程及废水处理工程。

一、中山美蓝洁净科技  产品种类
 产品种类：公司主要经营各类实验室系统工程规划装修/实验室通风系统工程装修规划/电子、食品、光学、精密仪器、手术室、生物制药、药包材、食品、制水等行业10---300000级净化工程/洁净工程/无尘车间/无菌室设计装修；实验室家具定制/实验室设备仪器定制/净化工程设备仪器配置等等；我们深切的知道，品质和服务是企业生存和发展的基本要素。作为实验室设备的全新品牌，我们继承和发扬国内外***实验室品牌的***理念，结合我国实验室现状推出了全新的实验室系列产品，以使其更好的服务于广大科研工作者。
二、中山美蓝洁净科技运行特点分析
   本企业特点：
——生产设备全部引进西方现今优质水平的机械，一次成型工艺，确保加工精度，生产效***，尤其适于批量生产；
——专业设计，生产***科学实验室家具、风淋室、传递窗、FFU通风柜产品；
——生产能力强，公司现拥有现代化生产线；
——原辅材料和配套五金等全部选用国内优质产品和进口产品，确保产品内在质量；
三、中山美蓝洁净科技运作程序
    几年来，公司承接了大量的实验室工程，多年实验室家具生产经验使公司具备了从设计 → 生产 →安装 → 服务成熟的工程作业能力。 
设计——充分考虑您的要求和场地空间、造型、安全性、便利性、工程预算情况。CAD电脑绘图系统出具设计图及家具的详细规格，我们为您提供更直观、专业的产品建议和布置方案。 
生产——***的设备、工艺，优质的材料，严格的质量管理，近于苛刻的工序操作标准，可以***为您提供放心的产品。
安装——经验丰富的安装队伍，全部接受专业培训，现场解决意外状况，迅速完成组装，清理现场，把给您带来的不便降低到小。
服务——从签约到工程交付两年内，项目协调员将跟踪服务于您所需要的每一阶段。

售后说明

中山市美蓝洁净科技有限公司是专业从事洁净技术研究、净化工程的设计、无尘车间施工、洁净厂房建造的高技术企业。公司拥有十五年空气净化的专业经验，建造的净化工程主要应用于饮料食品、电子器械、生物制药、航天航空、精密仪表、化妆品行业、科研教学等领域。

我们的服务流程：

1、结合国内外实验室、无菌室、洁净室、净化车间的历史、现状及发展趋势，专业化的设计理念;

2、各类实验室、洁净室、无尘室(恒温恒湿和生物安全)相关环境评估分析;

初步设计： 

1、勘察现场、了解现场环境特点;

2、领悟客户的想法与要求，消化并加以分析;

3、有针对性地收集相关资料：包括相应的仪器设备、实验室操作流程等;

4、确定设计风格，规划整体平面布局，与客户交流;

5、确定平面方案后进行整体的设计，彩色效果图绘制、备注说明、文字方案、工程预算等。

施工方案：

 1、确定整体设计方案;

 2、对现场细部考察，了解客户对材料品牌或其他方面的特殊要求;

 3、深化图纸：包括设计说明、文字方案、工程预算、平面图、立面图、部面图、色彩效果图、关键部位大样图、给排水、电气、暖通等体与细节等达到按图施工的标准;

 4、确定方案后，输出全套施工图纸。

项目实施：

1、施工方案确认交底，组建项目部，进行施工前人、财、物的各项准备工作;

2、严格根据施工工艺、施工进度计划施工，确保施工质量及进度，隐蔽工程要监理方验收合格后，进入下一道工序施工。

3、加强客户沟通，对项目变及时调整;

4、及时上报竣工资料，做好工程交接工作。

中山市美蓝洁净科技有限公司：承接：10-300000级净化工程装修与设计，层流手术室，负压病房，GMP净化工程、化妆品厂净化工程、 QS食品厂净化工程、电子厂净化工程、

美蓝洁净科技主要生产净化设备：风淋室、货淋室、过滤器、传递窗、高效送风口、洁净工作台、生物安全柜、自净器、新风柜、层流罩、实验室家具、FFU过滤单元等